IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列
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產(chǎn)品名稱:
IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列
產(chǎn)品型號(hào):
FLP-60W
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列，無(wú)需阻尼器即可實(shí)現(xiàn)低脈動(dòng)，降低總體成本，
適用于單晶圓工藝的負(fù)載追隨性優(yōu)異，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行。
IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列
的詳細(xì)介紹
IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列 產(chǎn)品特點(diǎn)：
●低脈動(dòng)
●可減少空氣消耗
●相位控制提高了負(fù)載波動(dòng)期間的跟隨性
●無(wú)需阻尼器可節(jié)省空間
IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP-60W 產(chǎn)品特參數(shù)：
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*大排放量注
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50L/min（供氣壓力0.2MPa、淡水25℃）
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工作液溫度
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5~100℃
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101~150℃
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151~180℃
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*大供氣壓力
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0.5MPa
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0.4兆帕
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0.3MPa
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*大耗氣量
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464NL/分鐘
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*大行程數(shù)
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160次/分鐘
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主要成分
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聚四氟乙烯、聚四氟乙烯
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*大轉(zhuǎn)移液粘度
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50毫帕·秒
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連接管徑
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?25mm × ?22mm（PFA管）
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