使用溫度 -5~40℃
*高使用圧 15MPa
是作為S-LABO使用來開發(fā)、設(shè)計的流量計。 在無塵車間進行清洗組裝,維持氣體的純度性能優(yōu)異。 閥門使用了氟系潤滑油來保證氣體純度。 可選配實施氦氣泄漏測試。(1.3×10-7Pa·m3/h以下)
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