獨(dú)自のピラニ球を使用した低真空域もカバーするピラニゲージで、測(cè)定範(fàn)囲は0.14Pa~2.6kPa です。ソリッドステートサーキットを採(cǎi)用していますので、電源変動(dòng)(90V~110V) に対しても極めて安定な動(dòng)作を示し、信頼ある測(cè)定値を指示します。
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