真空設(shè)備

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產(chǎn)品名稱: 真空設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào): SFCV

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

佐藤真空

真空設(shè)備 的詳細(xì)介紹

大學(xué)?研究機(jī)関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した、管狀爐式の高溫?zé)酑VD裝置です。少量?小サイズのテストピースが簡(jiǎn)単な操作で作れるように小型化し、同時(shí)に大幅なコストダウンを?qū)g現(xiàn)しました。
また、従來小型では困難とされてきた5～100Paでの圧力コントロール機(jī)能を備え、より多様な処理パターンに対応可能としました。さらこ炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報(bào)検出による機(jī)器停止、大気放出ガス希釈ユニットなどの**裝置を備えています。

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主仕様

爐芯管	透明石英管（加熱溫度100～1000℃）
爐芯管	アルミナ管（加熱溫度1000～1400℃）
反応ガス供給	2～60sccm（水素、メタン、エタン、工チレン、アセチレン、ベンゼン等）
圧力コントロール	5～100Pa
可燃性ガス大気放出対策	エジェクタにより可燃混合範(fàn)囲以下にエアで希釈排気

機(jī)器構(gòu)成

型式			SFCV-1001	SFCV-1003	SFCV-1501
管狀爐	爐芯管	材質(zhì)	透明石英管		アルミナ管
	爐芯管	內(nèi)徑	φ24mm、φ50mm		φ24mm
	加熱溫度	常用	100～1000℃		500～1400℃
	加熱溫度	Max	1150℃		1500℃
	加熱域		1ゾーン	3ゾーン	1ゾーン
	ヒータ容量		1.0kW	2.4kW	1.2kW
真空排気	油回転真空ポンプ		排気速度：100～150L/min
ガス供給	マスフローコントローラ		流量：10～100sccm
ガス供給	ガス管型フローメータ		流量：10～100sccm
ガス希釈	エアエジェクタ		エア流量：15Nl/min
真空計(jì)	圧力制御		キャパシタンスマノメータ：0.133～1330Pa,100Pa～133kPa
真空計(jì)	大気復(fù)圧		デジタル連成計(jì)：-100kPa～+100kPa
制御	溫度制御		プログラム制御
制御	圧力制御		バルブON/OFF制御
操作パネル			各機(jī)器スイッチ、プログラム溫調(diào)計(jì)、真空計(jì) 表示器：溫度、真空度、作動(dòng)機(jī)器ON/OFF、警報(bào)、電源
電源	単相		100V?30A	100V?50A	200V?20A
外形寸法	Ｗ×Ｄ×Ｈ		1450×500×1200mm
質(zhì)量			125kg	134kg	128kg