真空設(shè)備

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產(chǎn)品名稱(chēng): 真空設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào): HSV-12-80

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

佐藤真空

真空設(shè)備 的詳細(xì)介紹

本シリーズは研究開(kāi)発用、及び小ロット生産用の抵抗加熱式小型蒸著裝置です。また、本シリーズの一部機(jī)種には電子ビーム（ＥＢ）の搭載も可能です。

型　　式	HSV-3-30G	HSV-8-50		HSV-12-80
到達(dá)圧力	×10^-3Pa			×10^-4Pa
基板加熱溫度	-	Max 300℃
蒸発源（電極）	2対 10V Max150A			2対 20V Max200A
バルブ操作	手動(dòng)	自動(dòng)	手動(dòng)	自動(dòng)	手動(dòng)
真空槽	φ300×H300mm 透明ガラス	φ500×H500mm（水冷式） SUS 304		φ800×H700mm（水冷式）/前扉式 SUS 304
回転機(jī)構(gòu)	-	公転機(jī)構(gòu)		自公転機(jī)構(gòu)
內(nèi)部機(jī)構(gòu)	シャッター機(jī)構(gòu)、抵抗加熱機(jī)構(gòu)	シャッター機(jī)構(gòu)，加熱ヒーター,抵抗加熱機(jī)構(gòu)
主ポンプ	油拡散3inches	油拡散8inches		油拡散12inches又はクライオ
補(bǔ)助ポンプ	150L/min	500L/min		1500L/min
主バルブ	3inches	8inches		12inches