高真空での各種実験?開発?生産プロセスに対応。
■空冷式により水配管不要、保守の負擔(dān)を軽減。
■場所を選ばない100V 電源。
■メインフレーム?ベースにアルミを採用、軽量化を?qū)g現(xiàn)。
■使いやすさを追求したコンパクト設(shè)計。
● 補助ポンプをダイアフラム型ドライ真空ポンプ、またはスクロール型ドライ真空ポンプと組み合わせてフルドライの排気系を?qū)g現(xiàn)可能。
● 起動?停止に要する時間が短い。
● 不意の大気導(dǎo)入にも強い構(gòu)造のターボ分子ポンプを採用。
（注）故意に大気導(dǎo)入を繰返しますと故障の原因となります。
● より低コストで高真空雰囲気を得られます。
● 三方弁の切替機能により、補助ポンプのみの単獨排気運転も可能。
● 保守點検が容易。
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<DPS>タイプ
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