振動子は200gの小型軽量。カットには作業(yè)目的に合った形狀の超硬工具、レジスト膜の除去にはセラミック工具、切斷面がきれいなこと、工具の切れ味が持続することも超音波振動の特徴です。
① ヘラ(V型)
② ヘラ(O型)
③ ヘラ(U型)
④ セラミック砥石(平型)
⑤ セラミック砥石(丸型)
⑥ 工具ホルダ
付屬工具例
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